2010年年末开始，中国科学院微电子研究所2011年仪器设备采购项目启动，至今已采购仪器8批，采购金额约560万美元，折合人民币约为3600余万。以下是采购清单详情：
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包号 |
仪器名称 |
台数 |
价格 |
中标公司 |
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招标编号：OITC-G11032168 招标日期：2011.7.1 |
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1 |
电子束曝光机 |
1 |
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招标中 |
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招标编号：OITC-G11032126 招标日期：2011.5.24 |
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1 |
全定制版图设计系统及混合信号IC设计平台 |
1 |
10万美元 |
北京微通益友电子科技有限公司 |
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2 |
光谱椭偏仪 |
1 |
14.39万美元 |
HORIBA JOBIN YVON SAS |
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招标编号：OITC-G11032111 招标日期：2011.5.5 |
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1 |
膜厚仪 |
1 |
9.5万美元 |
HORIBA JOBIN YVON S.A.S |
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2 |
光刻胶涂覆机 |
1 |
15.1万美元 |
Pico Track |
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3 |
噪声分析仪 |
1 |
28.369万美元 |
天地华宇（香港）国际贸易有限公司 |
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4 |
信号发生器 |
1 |
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频谱分析仪 |
1 |
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招标编号：OITC-G11032080 招标日期：2011.4.12 |
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1 |
尾气处理系统 |
4 |
30.7万美元 |
埃地沃兹贸易（上海）有限公司 |
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2 |
特种气体柜 |
1 |
13.65万美元 |
上海正帆半导体设备有限公司 |
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3 |
激光钻孔机 |
1 |
42万美元 |
美国ESI公司 |
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4 |
二次元影像量测仪 |
1 |
13.57万美元 |
北京新卓仪器有限公司 |
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误码仪 |
1 |
28万美元 |
百盛通公司 |
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微探针台 |
1 |
11.3425万美元 |
美国奥泰公司 |
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招标编号：OITC-G11032058 招标日期：2011.3.23 |
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1 |
金属栅溅射台 |
1 |
116.6万美元 |
INFOVION 株式会社 |
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2 |
真空干泵 |
30 |
34.5万美元 |
埃地沃兹贸易（上海）有限公司 |
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3 |
介质化学气相淀积系统改造 |
1 |
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未知 |
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4 |
4寸化学机械抛光机 |
1 |
10.6万美元 |
南京冉锐科技有限公司 |
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招标编号：OITC-G11032057 招标日期：2011.3.15 |
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1 |
近场光学显微镜 |
1 |
23.83万美元 |
上海纳腾仪器有限公司 |
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2 |
激光共聚焦扫描显微镜 |
1 |
13.5万美元 |
锐科系统集成有限公司 |
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招标编号：OITC-G11032015 招标日期：2011.1.7 |
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1 |
半导体存储性能测试探针台系统 |
1 |
24.719万美元 |
Alltek Company USA, Inc |
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2 |
表面粗糙度仪 |
1 |
9.65万美元 |
上海海江纳米科技有限公司 |
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招标编号： OITC-G11032006 招标日期：2010.12.26 |
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1 |
超高真空化学气相沉积 |
1 |
—— |
废标 |
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2 |
宽光谱椭偏仪 |
1 |
—— |
废标 |
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3 |
系统级及纳米级IC设计软件平台 |
1 |
100万美金 |
奥肯思（北京）科技有限公司 |
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4 |
国产EDA工具 |
4 |
100万人民币 |
北京华大九天软件有限公司 |
